杭志精密

真空コーティング機

真空塗装機における電流センサーの応用

Hangzhi HIT電流センサーの紹介

Hangzhi HIT シリーズ電流センサーは、フラックスゲートの原理に基づいた製品で、大量のホール電流センサーを置き換えるために特別に設計されています。閉ループ ホール電流センサーと比較して、HIT シリーズ センサーはより優れた性能を発揮します。その精度は 0.05% に達し、閉ループ ホール効果電流センサーの 0.2% よりもはるかに高くなります。さらに、HIT シリーズ センサーの帯域幅は 100kHz に達することができ、これは閉ループ ホール電流センサーの帯域幅の 2 倍です。同時に、HIT シリーズ センサは小型化設計を実現し、インターフェースと体積はホール電流センサと同じであるため、直接置き換えに便利です。このシリーズの製品型番は、HIT50、HIT100、HIT200、HIT300、HIT500、HIT600で、50A~600AまでのDC、AC、パルス電流を測定できます。

真空コーティング機の研究開発背景

キーとなる装置として、真空環境下で薄膜を塗布する真空成膜装置が挙げられます。光学コーティング、金属コーティングなどの分野で幅広い用途に使用されています。高品質の薄膜を実現するには、電流の正確な監視と制御が重要です。従来の電流センサーには、真空環境下での大きな温度ドリフトや精度の低さなどの問題があり、真空成膜機の性能やプロセスの安定性が制限されていました。

真空コーティング機

従来の手法を使用する際の問題点

真空塗装機での電流センサーの応用は、主に電流の監視と制御に使用されます。真空成膜機では、高真空環境下で温度変化が大きいため、センサーが温度の影響を受け、出力電流値に誤差が生じる場合があります。電流センサーの温度ドリフトが大きい場合、システムの電流制御が不正確になり、その結果、膜の堆積速度と厚さの均一性に影響が生じます。電流センサーの精度が低い、つまり出力電流値と実際の値との乖離が大きい場合、成膜速度や膜厚を正確に制御できなくなります。特に光学コーティングなど、高い膜品質が要求される一部のアプリケーションでは、電流センサーの精度が低いと、膜の光学特性が不安定になったり、仕様要件を満たさなくなったりする可能性があります。従来の方法では、電流値を検出するためにホール電流センサーが一般的に使用されていました。しかし、従来のホール電流センサーには温度差が大きい、精度が不十分であるなどの問題があり、真空成膜機の性能と安定性が制限されていました。

Hangzhi HIT ホール効果代替電流センサー ソリューション

これらの問題を解決するために、Hangzhi はフラックスゲート技術の原理に基づいた電流センサー ソリューションを提案しました。高精度、低ゼロドリフトの特性により、真空成膜装置の用途要件を十分に満たします。

高精度電流センサーにより電流を正確に計測・制御することで、より正確な成膜速度や膜厚制御が可能となり、膜の均一性や品質安定性が向上します。高い膜品質が必要な光学コーティングなどの用途では、高精度の電流センサーがより高い光学性能と表面平坦性の達成に役立ちます。

正確な電流測定と制御は、プロセスパラメータを最適化し、真空塗装機の生産効率を向上させるのに役立ちます。電流を微調整することで、より速い成膜速度またはより少ないエネルギー消費を達成でき、装置の利用率とスループットが向上します。

高精度電流センサーの安定性が向上し、電流測定のドリフトや変動が軽減され、プロセスの安定性が向上します。安定した電流制御により、膜の変動や不均一性が低減され、製品の一貫性と再現性が向上します。

Hangzhi 電流センサーを真空塗装機に適用すると、従来のソリューションの問題点を効果的に解決し、膜品質とプロセスの安定性を向上させ、生産効率と製品の一貫性を向上させ、真空塗装機に大きな利点と応用可能性をもたらします。

Hangzhi HIT電流変換器の仕様


高精度: 0.05%

測定範囲: 10~1000A、 
フルスケール範囲: 1%-100% 単一製品の精度は安定しています
小さな温度ドリフト: 良好な一貫性、温度影響、0.1PPM/度
直線性: 50ppmまで
広帯域幅: (最大100kHz@±3dB)
反応時間: 1μs
動作温度範囲: -40..+85 °C
安定性 (0.2ppm/月)
ACおよびDCユニバーサル: AC、DC、パルス電流を測定可能
知的: 負荷開始過負荷保護、自己回復


杭志について


Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. は、高精度の電流センサー、電圧センサー、高精度の電気測定器の研究開発、生産、販売、ソリューションのカスタマイズに特化したテクノロジーをリードする企業です。当社は、DC分野における精密電流センサーと精密電気測定器の有名ブランドの構築に努め、DCシステム分野における精密エレクトロニクスの国際的リーディングカンパニーに発展するよう努めています。

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