Virta-anturin käyttö tyhjiöpäällystyskoneessa

Hangzhi HIT -virtaanturin esittely

Hangzhi HIT series current sensor is a product based on the principle of fluxgate, which is specially designed to replace the Hall current sensor in large quantities. Compared with closed-loop Hall current sensors, HIT series sensors perform better in performance. Its accuracy can reach 0.05%, much higher than the 0.2% of the closed-loop Hall effect current sensor. In addition, the bandwidth of the HIT series sensor can reach 100kHz, which is 2 times higher than that of the closed-loop Hall current sensor. At the same time, the HIT series sensor realizes a miniaturized design, and the interface and volume are the same as the Hall current sensor, which is convenient for direct replacement. The product models of this series are: HIT50, HIT100, HIT200, HIT300, HIT500, HIT600, which can measure DC, AC and pulse current from 50A to 600A.

T&K-taustaa VACUUM COATING MACHINElle

Tyhjiöpäällystyskonetta käytetään keskeisenä laitteistona ohutkalvopäällystykseen tyhjiöympäristössä. Sillä on laaja valikoima sovelluksia optisessa pinnoituksessa, metallipinnoituksessa ja muilla aloilla. Virran tarkka valvonta ja hallinta on avainasemassa korkealaatuisten ohutkalvojen aikaansaamisessa. Perinteisissä virta-antureissa on ongelmia, kuten suuri lämpötilapoikkeama ja alhainen tarkkuus tyhjiöympäristössä, mikä rajoittaa tyhjiöpäällystyskoneiden suorituskykyä ja prosessin vakautta.

Traditiomenetelmän käytön kipukohdat

The application of the current sensor on the vacuum coating machine is mainly used to monitor and control the current. In the vacuum coating machine, due to the large temperature change in the high vacuum environment, the sensor may be affected by the temperature, resulting in a deviation in the output current value. If the temperature drift of the current sensor is large, the current control of the system will be inaccurate, thereby affecting the deposition rate and thickness uniformity of the film. If the accuracy of the current sensor is low, that is, there is a large deviation between the output current value and the real value, the system will not be able to accurately control the deposition rate and film thickness. Especially for some applications that require high film quality, such as optical coating, a current sensor with low accuracy may cause the optical properties of the film to be unstable or not meet the specification requirements. In the traditional way, the Hall current sensor is commonly used to detect the current value. However, the traditional Hall current sensor has problems such as large temperature difference and insufficient precision, which restrict the performance and stability of the vacuum coating machine.

Hangzhi HIT Hall -efektin korvaava virta-anturiratkaisu

Näiden ongelmien ratkaisemiseksi Hangzhi ehdotti fluxgate-tekniikan periaatteeseen perustuvaa virta-anturiratkaisua. Korkean tarkkuuden ja alhaisen nollapoikkeaman ominaisuudet täyttävät täysin tyhjiöpäällystyskoneiden käyttövaatimukset.

Mittaamalla ja ohjaamalla virtaa tarkasti, erittäin tarkka virta-anturi mahdollistaa tarkemman kerrostumisnopeuden ja paksuuden hallinnan, mikä parantaa kalvon tasaisuutta ja laadun vakautta. Korkeaa kalvonlaatua vaativissa sovelluksissa, kuten optisissa pinnoitteissa, erittäin tarkat virta-anturit voivat auttaa saavuttamaan korkeamman optisen suorituskyvyn ja pinnan tasaisuuden.

Tarkka virranmittaus ja ohjaus auttavat optimoimaan prosessiparametreja ja parantamaan tyhjiöpäällystyskoneiden tuotantotehokkuutta. Hienosäätämällä virtaa voidaan saavuttaa nopeampia kerrostumisnopeuksia tai vähemmän energiankulutusta, mikä lisää laitteiden käyttöastetta ja suorituskykyä.

Korkean tarkkuuden virta-anturin vakaus on parempi, mikä voi vähentää virranmittauksen ajautumista ja vaihtelua ja parantaa prosessin vakautta. Vakaa virransäätö auttaa vähentämään kalvon vaihtelua ja epätasaisuutta parantaen tuotteen yhtenäisyyttä ja toistettavuutta.

Hangzhi-virtaanturin käyttö tyhjiöpäällystyskoneessa voi tehokkaasti ratkaista perinteisten ratkaisujen kipukohdat, parantaa kalvon laatua ja prosessin vakautta, parantaa tuotannon tehokkuutta ja tuotteen johdonmukaisuutta sekä tuoda suurempia etuja ja sovelluspotentiaalia tyhjiöpäällystyskoneeseen.

Hangzhi HIT -virtamuuntimien tekniset tiedot

Korkean tarkkuuden: 0.05%

Mittausalue: 10-1000A,
Täysi mittakaava: 1%-100% yksittäisen tuotteen tarkkuus on tasainen
Pieni lämpötilapoikkeama: hyvä konsistenssi, lämpötilavaikutus, 0,1 ppm/aste
Lineaarisuus: jopa 50 ppm
Laaja kaistanleveys: (jopa 100 kHz @±3 dB)
Vasteaika: 1 μs
Käyttölämpötila: -40...+85 °C
Vakaus (0,2 ppm/kk)
AC ja DC universaali: voi mitata AC, DC, pulssivirtaa
Älykäs: kuormakäynnistyksen ylikuormitussuoja, itsepalautuminen

Tietoja Hangzhista

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. on teknologian johtava yritys, joka on omistautunut korkean tarkkuuden virta-anturien, jänniteanturien ja korkean tarkkuuden sähkömittauslaitteiden tutkimukseen ja kehitykseen, tuotantoon, myyntiin ja ratkaisujen räätälöintiin. Pyrimme rakentamaan DC-alalle tunnetun tarkkuusvirta-antureiden ja tarkkuussähköisten mittauslaitteiden brändin ja pyrimme kehittymään kansainväliseksi johtavaksi tarkkuuselektroniikan yritykseksi tasavirtajärjestelmien alalla.

Ota yhteyttä asiantuntijoihimme

Contact us directly via email info@hangzhiprecision.com or fill out the form below. We will respond as soon as possible.

Fluxgate-virtaanturit

Tarkkuusenergia, virtatestaajat

Fluxgate-jännitemuuntimet

FAQ & Knowledge Center

Tapaustutkimuksia

Suurvirta-anturin käyttö suuren kapasiteetin aurinkosähköinvertterin virtatestissä