Hangzhi-Präzision

Vakuumbeschichtungsmaschine

Anwendung eines Stromsensors in einer Vakuumbeschichtungsmaschine

Einführung des Hangzhi HIT-Stromsensors

Hangzhi HIT series current sensor is a product based on the principle of fluxgate, which is specially designed to replace the Hall current sensor in large quantities. Compared with closed-loop Hall current sensors, HIT series sensors perform better in performance. Its accuracy can reach 0.05%, much higher than the 0.2% of the closed-loop Hall effect current sensor. In addition, the bandwidth of the HIT series sensor can reach 100 kHz, which is 2 times higher than that of the closed-loop Hall current sensor. At the same time, the HIT series sensor realizes a miniaturized design, and the interface and volume are the same as the Hall current sensor, which is convenient for direct replacement. The product models of this series are: HIT50, HIT100, HIT200, HIT300, HIT500, HIT600, which can measure DC, AC and pulse current from 50A to 600A.

F&E-Hintergrund für VAKUUMBESCHICHTUNGSMASCHINE

Als Schlüsselausrüstung wird die Vakuumbeschichtungsmaschine für die Dünnfilmbeschichtung in einer Vakuumumgebung verwendet. Es hat ein breites Anwendungsspektrum in der optischen Beschichtung, Metallbeschichtung und anderen Bereichen. Eine genaue Überwachung und Steuerung des Stroms ist der Schlüssel zur Erzielung hochwertiger Dünnfilme. Herkömmliche Stromsensoren haben Probleme wie große Temperaturdrift und geringe Präzision in einer Vakuumumgebung, die die Leistung und Prozessstabilität von Vakuumbeschichtungsmaschinen einschränken.

Vakuumbeschichtungsmaschine

Schwachstellen bei der Verwendung der Traditionsmethode

The application of the current sensor on the vacuum coating machine is mainly used to monitor and control the current. In the vacuum coating machine, due to the large temperature change in the high vacuum environment, the sensor may be affected by the temperature, resulting in a deviation in the output current value. If the temperature drift of the current sensor is large, the current control of the system will be inaccurate, thereby affecting the deposition rate and thickness uniformity of the film. If the accuracy of the current sensor is low, that is, there is a large deviation between the output current value and the real value, the system will not be able to accurately control the deposition rate and film thickness. Especially for some applications that require high film quality, such as optical coating, a current sensor with low accuracy may cause the optical properties of the film to be unstable or not meet the specification requirements. In the traditional way, the Hall current sensor is commonly used to detect the current value. However, the traditional Hall current sensor has problems such as large temperature difference and insufficient precision, which restrict the performance and stability of the vacuum coating machine.

Hangzhi HIT Hall-Effekt-Ersatzstromsensorlösung

Um diese Probleme zu lösen, schlug Hangzhi eine Stromsensorlösung vor, die auf dem Prinzip der Fluxgate-Technologie basiert. Die Eigenschaften hoher Präzision und geringer Nullpunktdrift erfüllen die Anwendungsanforderungen von Vakuumbeschichtungsmaschinen voll und ganz.

Durch die genaue Messung und Steuerung des Stroms ermöglicht der hochpräzise Stromsensor eine genauere Steuerung der Abscheidungsrate und Dicke und verbessert so die Gleichmäßigkeit und Qualitätsstabilität des Films. Bei Anwendungen wie optischen Beschichtungen, die eine hohe Filmqualität erfordern, können hochpräzise Stromsensoren dazu beitragen, eine höhere optische Leistung und Oberflächenebenheit zu erreichen.

Eine genaue Strommessung und -steuerung hilft, Prozessparameter zu optimieren und die Produktionseffizienz von Vakuumbeschichtungsmaschinen zu verbessern. Durch die Feinabstimmung des Stroms können schnellere Abscheidungsraten oder ein geringerer Energieverbrauch erreicht werden, wodurch die Geräteauslastung und der Durchsatz erhöht werden.

Die Stabilität des hochpräzisen Stromsensors ist besser, was die Drift und Schwankung der Strommessung reduzieren und die Stabilität des Prozesses verbessern kann. Eine stabile Stromregelung trägt dazu bei, Filmschwankungen und Ungleichmäßigkeiten zu reduzieren und so die Produktkonsistenz und Wiederholbarkeit zu verbessern.

Der Einsatz des Hangzhi-Stromsensors in Vakuumbeschichtungsmaschinen kann die Schwachstellen herkömmlicher Lösungen effektiv lösen, die Filmqualität und Prozessstabilität verbessern, die Produktionseffizienz und Produktkonsistenz verbessern und der Vakuumbeschichtungsmaschine größere Vorteile und Anwendungspotenziale bringen.

Spezifikationen der Hangzhi HIT-Stromwandler


Hohe Präzision: 0.05%

Messbereich: 10 bis 1000A, 
Voller Skalenbereich: 1%-100% Genauigkeit eines einzelnen Produkts ist konsistent
Kleine Temperaturdrift: gute Konsistenz, Temperatureinfluss, 0,1 PPM/Grad
Linearität: bis zu 50 ppm
Große Bandbreite: (bis zu 100 kHz bei ±3 dB)
Reaktionszeit: 1μs
Betriebstemperaturbereich: -40..+85 °C
Stabilität (0,2 ppm/Monat)
AC und DC universal: Kann Wechselstrom, Gleichstrom und Impulsstrom messen
Intelligent: Laststart-Überlastschutz, Selbstwiederherstellung


Über Hangzhi


Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. ist ein technologieführendes Unternehmen, das sich der Forschung und Entwicklung, Produktion, dem Vertrieb und der individuellen Lösungsanpassung von hochpräzisen Stromsensoren, Spannungssensoren und hochpräzisen elektrischen Messgeräten widmet. Unser Ziel ist es, eine bekannte Marke für Präzisionsstromsensoren und elektrische Präzisionsmessgeräte im DC-Bereich aufzubauen und uns zu einem international führenden Unternehmen der Präzisionselektronik im Bereich DC-Systeme zu entwickeln.

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