Hangzhi-Präzision

Vakuumbeschichtungsmaschine

Anwendung eines Stromsensors in einer Vakuumbeschichtungsmaschine

Einführung des Hangzhi HIT-Stromsensors

Der Stromsensor der Hangzhi HIT-Serie ist ein Produkt, das auf dem Fluxgate-Prinzip basiert und speziell dafür entwickelt wurde, den Hall-Stromsensor in großen Mengen zu ersetzen. Im Vergleich zu Hall-Stromsensoren mit geschlossenem Regelkreis weisen Sensoren der HIT-Serie eine bessere Leistung auf. Seine Genauigkeit kann 0,051 TP3T erreichen, viel höher als die 0,21 TP3T des Hall-Effekt-Stromsensors mit geschlossenem Regelkreis. Darüber hinaus kann die Bandbreite des Sensors der HIT-Serie 100 kHz erreichen, was doppelt so hoch ist wie die des Hall-Stromsensors mit geschlossenem Regelkreis. Gleichzeitig realisiert der Sensor der HIT-Serie ein miniaturisiertes Design, und die Schnittstelle und das Volumen sind die gleichen wie beim Hall-Stromsensor, was für einen direkten Austausch praktisch ist. Die Produktmodelle dieser Serie sind: HIT50, HIT100, HIT200, HIT300, HIT500, HIT600, die Gleich-, Wechsel- und Impulsströme von 50 A bis 600 A messen können.

F&E-Hintergrund für VAKUUMBESCHICHTUNGSMASCHINE

Als Schlüsselausrüstung wird die Vakuumbeschichtungsmaschine für die Dünnfilmbeschichtung in einer Vakuumumgebung verwendet. Es hat ein breites Anwendungsspektrum in der optischen Beschichtung, Metallbeschichtung und anderen Bereichen. Eine genaue Überwachung und Steuerung des Stroms ist der Schlüssel zur Erzielung hochwertiger Dünnfilme. Herkömmliche Stromsensoren haben Probleme wie große Temperaturdrift und geringe Präzision in einer Vakuumumgebung, die die Leistung und Prozessstabilität von Vakuumbeschichtungsmaschinen einschränken.

Vakuumbeschichtungsmaschine

Schwachstellen bei der Verwendung der Traditionsmethode

Der Einsatz des Stromsensors an der Vakuumbeschichtungsmaschine dient hauptsächlich der Überwachung und Steuerung des Stroms. In der Vakuumbeschichtungsmaschine kann der Sensor aufgrund der großen Temperaturänderung in der Hochvakuumumgebung von der Temperatur beeinflusst werden, was zu einer Abweichung des Ausgangsstromwerts führt. Wenn die Temperaturdrift des Stromsensors groß ist, ist die Stromsteuerung des Systems ungenau, was sich auf die Abscheidungsrate und die Gleichmäßigkeit der Dicke des Films auswirkt. Wenn die Genauigkeit des Stromsensors gering ist, d. h. die Abweichung zwischen dem Ausgangsstromwert und dem tatsächlichen Wert groß ist, kann das System die Abscheidungsrate und die Filmdicke nicht genau steuern. Insbesondere bei einigen Anwendungen, die eine hohe Filmqualität erfordern, wie z. B. optische Beschichtungen, kann ein Stromsensor mit geringer Genauigkeit dazu führen, dass die optischen Eigenschaften des Films instabil sind oder nicht den Spezifikationsanforderungen entsprechen. Herkömmlicherweise wird zur Erfassung des Stromwerts üblicherweise der Hall-Stromsensor verwendet. Der herkömmliche Hall-Stromsensor weist jedoch Probleme wie große Temperaturunterschiede und unzureichende Präzision auf, die die Leistung und Stabilität der Vakuumbeschichtungsmaschine einschränken.

Hangzhi HIT Hall-Effekt-Ersatzstromsensorlösung

Um diese Probleme zu lösen, schlug Hangzhi eine Stromsensorlösung vor, die auf dem Prinzip der Fluxgate-Technologie basiert. Die Eigenschaften hoher Präzision und geringer Nullpunktdrift erfüllen die Anwendungsanforderungen von Vakuumbeschichtungsmaschinen voll und ganz.

Durch die genaue Messung und Steuerung des Stroms ermöglicht der hochpräzise Stromsensor eine genauere Steuerung der Abscheidungsrate und Dicke und verbessert so die Gleichmäßigkeit und Qualitätsstabilität des Films. Bei Anwendungen wie optischen Beschichtungen, die eine hohe Filmqualität erfordern, können hochpräzise Stromsensoren dazu beitragen, eine höhere optische Leistung und Oberflächenebenheit zu erreichen.

Eine genaue Strommessung und -steuerung hilft, Prozessparameter zu optimieren und die Produktionseffizienz von Vakuumbeschichtungsmaschinen zu verbessern. Durch die Feinabstimmung des Stroms können schnellere Abscheidungsraten oder ein geringerer Energieverbrauch erreicht werden, wodurch die Geräteauslastung und der Durchsatz erhöht werden.

Die Stabilität des hochpräzisen Stromsensors ist besser, was die Drift und Schwankung der Strommessung reduzieren und die Stabilität des Prozesses verbessern kann. Eine stabile Stromregelung trägt dazu bei, Filmschwankungen und Ungleichmäßigkeiten zu reduzieren und so die Produktkonsistenz und Wiederholbarkeit zu verbessern.

Der Einsatz des Hangzhi-Stromsensors in Vakuumbeschichtungsmaschinen kann die Schwachstellen herkömmlicher Lösungen effektiv lösen, die Filmqualität und Prozessstabilität verbessern, die Produktionseffizienz und Produktkonsistenz verbessern und der Vakuumbeschichtungsmaschine größere Vorteile und Anwendungspotenziale bringen.

Spezifikationen der Hangzhi HIT-Stromwandler


Hohe Präzision: 0.05%

Messbereich: 10 bis 1000A, 
Voller Skalenbereich: 1%-100% Genauigkeit eines einzelnen Produkts ist konsistent
Kleine Temperaturdrift: gute Konsistenz, Temperatureinfluss, 0,1 PPM/Grad
Linearität: bis zu 50 ppm
Große Bandbreite: (bis zu 100 kHz bei ±3 dB)
Reaktionszeit: 1μs
Betriebstemperaturbereich: -40..+85 °C
Stabilität (0,2 ppm/Monat)
AC und DC universal: Kann Wechselstrom, Gleichstrom und Impulsstrom messen
Intelligent: Laststart-Überlastschutz, Selbstwiederherstellung


Über Hangzhi


Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. ist ein technologieführendes Unternehmen, das sich der Forschung und Entwicklung, Produktion, dem Vertrieb und der individuellen Lösungsanpassung von hochpräzisen Stromsensoren, Spannungssensoren und hochpräzisen elektrischen Messgeräten widmet. Unser Ziel ist es, eine bekannte Marke für Präzisionsstromsensoren und elektrische Präzisionsmessgeräte im DC-Bereich aufzubauen und uns zu einem international führenden Unternehmen der Präzisionselektronik im Bereich DC-Systeme zu entwickeln.

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