Précision Hangzhi

Machine de revêtement sous vide

Application du capteur de courant dans la machine de revêtement sous vide

Introduction du capteur de courant Hangzhi HIT

Hangzhi HIT series current sensor is a product based on the principle of fluxgate, which is specially designed to replace the Hall current sensor in large quantities. Compared with closed-loop Hall current sensors, HIT series sensors perform better in performance. Its accuracy can reach 0.05%, much higher than the 0.2% of the closed-loop Hall effect current sensor. In addition, the bandwidth of the HIT series sensor can reach 100 kHz, which is 2 times higher than that of the closed-loop Hall current sensor. At the same time, the HIT series sensor realizes a miniaturized design, and the interface and volume are the same as the Hall current sensor, which is convenient for direct replacement. The product models of this series are: HIT50, HIT100, HIT200, HIT300, HIT500, HIT600, which can measure DC, AC and pulse current from 50A to 600A.

Contexte de R & D pour MACHINE DE REVÊTEMENT SOUS VIDE

En tant qu'équipement clé, la machine de revêtement sous vide est utilisée pour le revêtement en couche mince dans un environnement sous vide. Il a une large gamme d'applications dans le revêtement optique, le revêtement métallique et d'autres domaines. Une surveillance et un contrôle précis du courant sont essentiels pour obtenir des films minces de haute qualité. Les capteurs de courant traditionnels présentent des problèmes tels qu'une grande dérive de température et une faible précision dans un environnement sous vide, qui limitent les performances et la stabilité du processus des machines de revêtement sous vide.

Machine de revêtement sous vide

Points douloureux de l'utilisation de la méthode Tradition

The application of the current sensor on the vacuum coating machine is mainly used to monitor and control the current. In the vacuum coating machine, due to the large temperature change in the high vacuum environment, the sensor may be affected by the temperature, resulting in a deviation in the output current value. If the temperature drift of the current sensor is large, the current control of the system will be inaccurate, thereby affecting the deposition rate and thickness uniformity of the film. If the accuracy of the current sensor is low, that is, there is a large deviation between the output current value and the real value, the system will not be able to accurately control the deposition rate and film thickness. Especially for some applications that require high film quality, such as optical coating, a current sensor with low accuracy may cause the optical properties of the film to be unstable or not meet the specification requirements. In the traditional way, the Hall current sensor is commonly used to detect the current value. However, the traditional Hall current sensor has problems such as large temperature difference and insufficient precision, which restrict the performance and stability of the vacuum coating machine.

Solution de capteur de courant substitut à effet Hall Hangzhi HIT

Afin de résoudre ces problèmes, Hangzhi a proposé une solution de capteur de courant basée sur le principe de la technologie fluxgate. Les caractéristiques de haute précision et de faible dérive zéro répondent pleinement aux exigences d'application des machines de revêtement sous vide.

En mesurant et en contrôlant avec précision le courant, le capteur de courant de haute précision permet un contrôle plus précis de la vitesse de dépôt et de l'épaisseur, améliorant ainsi l'uniformité et la stabilité de la qualité du film. Dans des applications telles que les revêtements optiques qui nécessitent une qualité de film élevée, des capteurs de courant de haute précision peuvent aider à obtenir des performances optiques et une planéité de surface supérieures.

La mesure et le contrôle précis du courant permettent d'optimiser les paramètres de processus et d'améliorer l'efficacité de production des machines de revêtement sous vide. En ajustant avec précision le courant, des taux de dépôt plus rapides ou une consommation d'énergie moindre peuvent être obtenus, ce qui augmente l'utilisation et le débit de l'équipement.

La stabilité du capteur de courant de haute précision est meilleure, ce qui peut réduire la dérive et la fluctuation de la mesure du courant et améliorer la stabilité du processus. Le contrôle stable du courant aide à réduire les fluctuations et la non-uniformité du film, améliorant ainsi la cohérence et la répétabilité du produit.

L'application du capteur de courant Hangzhi dans la machine de revêtement sous vide peut résoudre efficacement les problèmes des solutions traditionnelles, améliorer la qualité du film et la stabilité du processus, améliorer l'efficacité de la production et la cohérence du produit, et apporter de plus grands avantages et un potentiel d'application à la machine de revêtement sous vide.

Spécifications des transducteurs de courant Hangzhi HIT


Haute précision: 0.05%

Plage de mesure : 10 à 1000A, 
Gamme pleine échelle : La précision 1%-100% d'un seul produit est cohérente
Petite dérive de température : bonne consistance, influence de la température, 0.1PPM/degré
Linéarité : jusqu'à 50ppm
Large bande passante : (jusqu'à 100kHz @±3dB)
Temps de réponse: 1μs
Plage de température de fonctionnement : -40..+85 °C
La stabilité (0,2 ppm/mois)
AC et DC universel : peut mesurer AC, DC, courant d'impulsion
Intelligent: protection contre les surcharges de démarrage de charge, auto-récupération


À propos de Hangzhi


Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. est une entreprise de pointe dédiée à la R&D, à la production, à la vente et à la personnalisation de solutions de capteurs de courant de haute précision, de capteurs de tension et d'instruments de mesure électriques de haute précision. Nous nous efforçons de construire une marque bien connue de capteurs de courant de précision et d'instruments de mesure électriques de précision dans le domaine du courant continu, et nous nous efforçons de devenir une entreprise leader internationale en électronique de précision dans le domaine des systèmes à courant continu.

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