Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Nagy pontosságú áramszenzorok alkalmazási megoldásai a félvezető berendezések gyártóinál
Ipari háttér
Az olyan alapvető félvezető berendezések gyártói számára, mint a maratás, vékonyréteg-leülepedés, ionimplantáció és kémiai-mechanikai polírozás (CMP), berendezéseik alapvető versenyképessége nem csak a funkcionális megvalósításban rejlik, hanem három kulcsdimenzióban is: először is, a folyamat hosszú távú stabilitásában; másodszor, az azonos modellű berendezések közötti magas konzisztenciában; és harmadszor, a kulcsparaméterek hosszú távú működés után mutatott drifteléssel szembeni ellenálló képességében.
Ezen dimenziók elérése nagymértékben függ a valós áramadatok pontos megszerzésétől a kulcsfontosságú tápegység- és terhelési áramkörökben—az áramadatok az alapja a zárt körű szabályozásnak és a folyamatstabilitás biztosításának, és a nagy pontosságú áramérzékelők azok a magalkotóelemek, amelyek ennek az alapnak a megvalósításához szükségesek.
Tipikus Alkalmazási Szegmensek
1. Alkalmazási szegmens 1: A kritikus áramkörök pontos monitorozása a berendezésekben
Alkalmazás fő helyei
- Nagy teljesítményű DC tápegység kimeneti terminál
- Rádiófrekvencia (RF) tápegység front-end DC busz
- Fűtőtest, elektromágneses tekercs és motorhajtó áramkörök
Alkalmazás-végrehajtási módszer
A Hangzhi nagy pontosságú fluxkapus áramérzékelői közvetlenül sorba vannak kötve a berendezés kritikus áramkörével, alacsony driftű, magas konzisztenciájú valós idejű áramvisszacsatoló jeleket szolgáltatva a berendezés programozható logikai vezérlőjének (PLC) vagy fő vezérlőlapjának. Fő funkcióik három fő helyzetet fednek le: először is, a folyamat zárt hurkú szabályozását; másodszor, a berendezés működési állapotának valós idejű monitorozását; harmadszor, a rendellenes áramok gyors azonosítását és korai figyelmeztetését.
2. Alkalmazási szakasz 2: Berendezés konzisztencia-kalibrálás és gyári kalibrálás
A berendezések gyári tesztelésének, a gépek átfogó hibakeresésének, valamint a helyszíni telepítés és kalibrálás három kulcsfontosságú szakaszában a Hangzhi nagy pontosságú áramérzékelők mérésügyi referenciaeszközként szolgálhatnak, és három alapvető feladatot látnak el: elsőként a berendezés belső áramérzékelő csatornájának pontossági eltérésének kalibrálását; másodszor a különböző tételű berendezések közötti mérési konzisztenciaeltérések korrigálását; és harmadszor az azonos modellű berendezések folyamatparamétereinek konzisztenciájának és reprodukálhatóságának biztosítását.
A megoldás fő előnyei
Ez a megoldás a Hangzhi mag-fluxgate zárt hurok technológiáját használja, négy fő előnnyel rendelkezik: Először, magas mérési pontosság, amely megfelel a félvezető berendezések precíziós vezérlési követelményeinek; másodszor, alacsony nullponti drift és alacsony hőmérsékleti drift, biztosítva hosszú távú működési stabilitást; harmadszor, erős zavarvédelmi képesség, alkalmazkodva a félvezető berendezések komplex elektromágneses környezetéhez; és negyedszer, kiváló stabilitás, lehetővé téve hosszú távú megbízható működést.
Ezen előnyök révén a berendezések gyártói közvetlenül két alapvető értéket növelhetnek: először is, jelentősen megerősíthetik a berendezések folyamatstabilitását; másodsorban pedig javíthatják a márkás termékek piaci megbízhatóságát.
Alkalmazás Alapértéke
A Hangzhi nagy pontosságú áramérzékelője, mint alapvető alapkomponens, döntő támogatást nyújt a félvezető berendezések high-end frissítéséhez, precíziós vezérléséhez, stabil működéséhez és konzisztencia-biztosításához, ami fontos támogató eszközzé teszi a berendezések gyártói számára a központi versenyképességük javítása érdekében.
Tudj meg többet Nagy pontosságú áramszenzorok
Hangzhiról
Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. egy technológiailag vezető vállalkozás, amely a nagy pontosságú áramérzékelők, feszültségérzékelők és nagy pontosságú elektromos mérőműszerek kutatásával és fejlesztésével, gyártásával, értékesítésével és a megoldások testreszabásával foglalkozik. Arra törekszünk, hogy egy jól ismert márkát építsünk ki fluxgate precíziós áramérzékelők és precíziós elektromos mérőműszerek gyártása az egyenáramú rendszerek területén, és arra törekszünk, hogy az egyenáramú rendszerek területén a precíziós elektronika nemzetközileg vezető vállalatává váljunk.