Tavlama, ince film biriktirme, iyon implantasyonu ve kimyasal mekanik parlatma (CMP) gibi temel yarı iletken ekipman üreticileri için ekipmanlarının çekirdek rekabet gücü yalnızca işlevsel uygulamada değil, aynı zamanda üç önemli boyutta yatmaktadır: ilk olarak, prosesin uzun vadeli kararlılığı; ikinci olarak, aynı modeldeki ekipmanlar arasında yüksek tutarlılık; ve üçüncü olarak, ana parametrelerin uzun süreli çalışmadan sonra sapmaya direnme yeteneği.

Bu boyutların başarılması, önemli güç kaynağı ve yük devrelerindeki gerçek akım verilerinin doğru şekilde elde edilmesine büyük ölçüde bağlıdır—akım verileri kapalı döngü kontrolü ve süreç kararlılığının sağlanmasının temelidir, ve yüksek hassasiyetli akım sensörleri bu temeli gerçekleştirmek için çekirdek bileşenlerdir.