Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Soluzioni applicative di sensori di corrente ad alta precisione nei produttori di apparecchiature per semiconduttori
Contesto del settore
Per i produttori di attrezzature semiconduttori di base come incisione, deposizione di film sottili, implantazione ionica e levigatura chimico-meccanica (CMP), la competitività centrale delle loro attrezzature risiede non solo nell'implementazione funzionale, ma anche in tre dimensioni chiave: prima, la stabilità a lungo termine del processo; seconda, l'alta coerenza tra attrezzature dello stesso modello; e terza, la capacità dei parametri chiave di resistere alla deriva dopo un funzionamento prolungato.
Il raggiungimento di queste dimensioni dipende fortemente dall'acquisizione accurata dei dati di corrente reali nei circuiti chiave di alimentazione e carico—i dati di corrente sono la base per il controllo in anello chiuso e la garanzia di stabilità del processo, e i sensori di corrente ad alta precisione sono i componenti centrali per realizzare questa base.
Segmenti di Applicazione Tipici
1. Segmento Applicativo 1: Monitoraggio Preciso dei Circuiti di Corrente Critica nelle Attrezzature
Posizioni principali dell'applicazione
- Terminale di uscita dell'alimentatore CC ad alta potenza
- Bus CC front-end dell'alimentatore a radiofrequenza (RF)
- Riscaldatore, bobina elettromagnetica e circuiti di azionamento del motore
Metodo di Implementazione dell'Applicazione
I sensori di corrente ad alta precisione a fluxgate di Hangzhi sono collegati direttamente in serie con i circuiti di corrente critici dell'apparecchiatura, fornendo segnali di feedback di corrente in tempo reale a bassa deriva e alta coerenza al controllore logico programmabile (PLC) o alla scheda di controllo principale dell'apparecchiatura. Le loro funzioni principali coprono tre scenari principali: primo, il controllo a ciclo chiuso del processo; secondo, il monitoraggio in tempo reale dello stato operativo dell'apparecchiatura; e terzo, l'identificazione rapida e l'allerta precoce di correnti anomale.
2. Fase di applicazione 2: Calibrazione della coerenza dell'attrezzatura e calibrazione di fabbrica
Durante le tre fasi chiave dei test in fabbrica delle attrezzature, del debug complessivo della macchina e dell'installazione e calibrazione in sito, i sensori di corrente ad alta precisione Hangzhi possono fungere da dispositivi di riferimento di grado metrologico, svolgendo tre compiti fondamentali: primo, calibrare la deviazione di precisione del canale interno di rilevamento della corrente dell'attrezzatura; secondo, correggere le deviazioni di coerenza delle misurazioni tra diversi lotti di attrezzature; e terzo, garantire la coerenza e riproducibilità dei parametri di processo per le attrezzature dello stesso modello.
Vantaggi principali della soluzione
Questa soluzione utilizza la tecnologia a circuito chiuso a nucleo di flussometro di Hangzhi, possedendo quattro vantaggi principali: Primo, alta precisione di misurazione, soddisfacendo i requisiti di controllo di precisione delle apparecchiature a semiconduttore; secondo, bassa deriva dello zero e bassa deriva termica, garantendo stabilità operativa a lungo termine; terzo, forte capacità anti-interferenza, adattandosi al complesso ambiente elettromagnetico delle apparecchiature a semiconduttore; e quarto, eccellente stabilità, consentendo un funzionamento affidabile a lungo termine.
Attraverso questi vantaggi, i produttori di attrezzature possono migliorare direttamente due valori fondamentali: primo, rafforzare significativamente la stabilità del processo delle attrezzature; e secondo, migliorare l'affidabilità sul mercato dei prodotti di marca.
Valore Fondamentale dell'Applicazione
Il sensore di corrente ad alta precisione di Hangzhi, come componente fondamentale centrale, fornisce un supporto cruciale per l'aggiornamento high-end, il controllo di precisione, il funzionamento stabile e la garanzia di coerenza delle apparecchiature a semiconduttore, rendendolo un importante dispositivo di supporto per i produttori di apparecchiature per migliorare la loro competitività centrale.
Impara di più riguardo Sensori di corrente ad alta precisione
A proposito di Hangzhi
Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. è un'azienda leader nel settore tecnologico che si dedica alla ricerca e allo sviluppo, alla produzione, alla vendita e alla personalizzazione di soluzioni per sensori di corrente ad alta precisione, sensori di tensione e strumenti di misura elettrici di alta precisione. Ci impegniamo a costruire un marchio noto di fluxgate sensori di corrente di precisione e strumenti di misura elettrici di precisione nel campo della corrente continua, con l'obiettivo di diventare un leader internazionale nell'elettronica di precisione nel campo dei sistemi in corrente continua.
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