Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Solutions d'application de capteurs de courant de haute précision chez les fabricants d'équipements semi-conducteurs
Contexte de l'industrie
Pour les fabricants d'équipements semi-conducteurs de base tels que la gravure, le dépôt de couches minces, l'implantation ionique et le polissage chimico-mécanique (CMP), la compétitivité centrale de leurs équipements réside non seulement dans la mise en œuvre fonctionnelle, mais aussi dans trois dimensions clés : premièrement, la stabilité à long terme du procédé ; deuxièmement, la haute cohérence entre les équipements d'un même modèle ; et troisièmement, la capacité des paramètres clés à résister à la dérive après un fonctionnement prolongé.
La réalisation de ces dimensions repose largement sur l'acquisition précise de données de courant réelles dans les circuits clés d'alimentation et de charge—les données de courant sont la base du contrôle en boucle fermée et de la garantie de stabilité du processus, et les capteurs de courant de haute précision sont les composants centraux pour atteindre cette base.
Segments d'Application Typiques
1. Segment d'Application 1 : Surveillance Précise des Circuits de Courant Critique dans les Équipements
Emplacements principaux de l'application
- Borne de sortie d'alimentation CC haute puissance
- Bus CC front-end d'alimentation radiofréquence (RF)
- Radiateur, bobine électromagnétique et circuits d'entraînement du moteur
Méthode de Mise en Œuvre des Applications
Les capteurs de courant haute précision à fluxgate de Hangzhi sont connectés directement en série avec les circuits de courant critiques de l'équipement, fournissant des signaux de rétroaction de courant en temps réel à faible dérive et à haute cohérence au contrôleur logique programmable (PLC) ou à la carte de commande principale de l'équipement. Leurs fonctions principales couvrent trois scénarios majeurs : premièrement, le contrôle en boucle fermée du processus ; deuxièmement, la surveillance en temps réel de l'état de fonctionnement de l'équipement ; et troisièmement, l'identification rapide et l'alerte précoce des courants anormaux.
2. Étape d'application 2 : Étalonnage de la cohérence de l'équipement et étalonnage en usine
Lors des trois étapes clés des tests en usine des équipements, du débogage global des machines, et de l'installation et de l'étalonnage sur site, les capteurs de courant de haute précision Hangzhi peuvent servir de dispositifs de référence de classe métrologique, en assumant trois tâches centrales : premièrement, étalonner la déviation de précision du canal interne de détection de courant de l'équipement ; deuxièmement, corriger les déviations de cohérence des mesures entre différents lots d'équipements ; et troisièmement, assurer la cohérence et la reproductibilité des paramètres de processus pour les équipements du même modèle.
Avantages principaux de la solution
Cette solution utilise la technologie de base à fluxmètre en boucle fermée de Hangzhi, possédant quatre avantages principaux : Premièrement, une haute précision de mesure, répondant aux exigences de contrôle précis des équipements semi-conducteurs ; deuxièmement, une faible dérive du point zéro et une faible dérive thermique, assurant une stabilité opérationnelle à long terme ; troisièmement, une forte capacité anti-interférence, s'adaptant à l'environnement électromagnétique complexe des équipements semi-conducteurs ; et quatrièmement, une excellente stabilité, permettant un fonctionnement fiable à long terme.
Grâce à ces avantages, les fabricants d'équipements peuvent améliorer directement deux valeurs fondamentales : premièrement, renforcer considérablement la stabilité du processus des équipements ; et deuxièmement, améliorer la fiabilité sur le marché des produits de marque.
Valeur Principale de l'Application
Le capteur de courant haute précision de Hangzhi, en tant que composant fondamental central, apporte un soutien crucial à la mise à niveau haut de gamme, au contrôle de précision, au fonctionnement stable et à la garantie de cohérence des équipements semiconducteurs, ce qui en fait un dispositif de support important pour les fabricants d'équipements afin d'améliorer leur compétitivité centrale.
En savoir plus sur Capteurs de courant de haute précision
À propos de Hangzhi
Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. est une entreprise à la pointe de la technologie qui se consacre à la recherche et au développement, à la production, à la vente et à la personnalisation de solutions pour les capteurs de courant de haute précision, les capteurs de tension et les instruments de mesure électrique de haute précision. Nous nous efforçons de créer une marque réputée de capteurs de courant, de capteurs de tension et d'instruments de mesure électrique de haute précision. . des capteurs de courant de précision et des instruments de mesure électrique de précision dans le domaine du courant continu, et s'efforcer de devenir un leader international de l'électronique de précision dans le domaine des systèmes à courant continu.
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