Hangzhi Precision

Korkeatarkkuusvirta-anturien sovellukset puolijohtolaitteiden valmistajilla

Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers

Korkeatarkkuusvirta-anturien sovellukset puolijohtolaitteiden valmistajilla

Suurta tarkkuutta omaavien virta-antureiden sovellusratkaisut puolijohdelaitteiden valmistajilla

Teollisuustaustaa

Ydinpuolijohdelaitteiden, kuten etsauksen, ohutkalvon kasvatuksen, ionimplantaatioiden ja kemiallis-mekaanisen hiomisen (CMP) valmistajille laitteidensa ydin kilpailukyky ei sijaitse vain toiminnallisessa toteutuksessa, vaan myös kolmessa keskeisessä ulottuvuudessa: ensiksi, prosessin pitkän aikavälin vakaus; toiseksi, saman mallin laitteiden välinen korkea yhdenmukaisuus; ja kolmanneksi, keskeisten parametrien kyky vastustaa driftiä pitkäaikaisen käytön jälkeen.

Näiden ulottuvuuksien saavuttaminen riippuu suuresti todellisten virtatietojen tarkasta hankinnasta keskeisissä virtalähteiden ja kuormien piireissä—virtatiedot ovat suljetun silmukan säätelyn ja prosessivakauden varmistamisen perusta, ja korkeatarkkuusvirtasensorit ovat tämän perustan saavuttamisen ydinkomponentteja.

Tyypilliset Sovellusalueet

1. Sovellussegmentti 1: Kriittisten virtapiirien tarkka valvonta laitteissa

Ydinohjelmiston sijainnit

  • Tehokkaan tasavirtalähteen lähtöliitin
  • Radiotaajuus (RF) virtalähteen etupään tasavirtajakso
  • Lämmittäjä, sähkömagneettikela ja moottorin ohjauspiirit

Sovellusten toteutusmenetelmä

Hangzhin korkeatahtoiset fluxgate-virrananturit on kytketty suoraan sarjaan laitteen kriittisten virtapiirien kanssa, toimittaen matalan offsetin, korkean yhtenäisyyden reaaliaikaisia virtapalautesignaaleita laitteen ohjelmoitavalle logiikkaohjaimelle (PLC) tai pääohjauspiirille. Niiden keskeiset toiminnot kattavat kolme pääskenaariota: ensiksi prosessin suljetun silmukan säätö; toiseksi laitteen käyttötilan reaaliaikainen valvonta; ja kolmanneksi poikkeavien virtojen nopea tunnistus ja varhainen varoitus.

2. Sovellusvaihe 2: Laitteen yhdenmukaisuuden kalibrointi ja tehdaskalibrointi

Laitetehdastestauksen, koneen kokonaisvalmistuksen sekä paikan päällä tapahtuvan asennuksen ja kalibroinnin kolmessa keskeisessä vaiheessa Hangzhi-korkealentoiset virta-anturit voivat toimia metrologisina vertailulaitteina ja hoitaa kolme keskeistä tehtävää: ensinnäkin kalibroida laitteen sisäisen virrantunnistuskanavan tarkkuuspoikkeama; toiseksi korjata eri erien laitteiden välisiä mittausyhtenäisyyden poikkeamia; ja kolmanneksi varmistaa saman mallin laitteiden prosessiparametrien yhtenäisyys ja toistettavuus.

Ratkaisun ydinedut

Tämä ratkaisu hyödyntää Hangzhin ydinfluxgate-suljettua silmukkatekniikkaa, jolla on neljä keskeistä etua: Ensinnäkin, korkea mittaus-tarkkuus, täyttäen puolijohdelaitteiden tarkankontrollivaatimukset; toiseksi, alhainen nollapistedrifti ja alhainen lämpötiladrifti, takaavan pitkän aikavälin toiminnallisen vakauden; kolmanneksi, vahva häiriönkestävyys, sopeutuen puolijohdelaitteiden monimutkaiseen sähkömagneettiseen ympäristöön; ja neljänneksi, erinomainen vakaus, mahdollistaen pitkän aikavälin luotettavan toiminnan.

Näiden etujen avulla laitevalmistajat voivat suoraan parantaa kahta ydinarvoa: ensinnäkin vahvistaa merkittävästi laitteiden prosessivakautta; ja toiseksi parantaa brändituotteiden markkinaluotettavuutta.

Sovelluksen Ydinarvo

Hangzhin korkean tarkkuuden virtasensori, keskeisenä peruskomponenttina, tarjoaa ratkaisevan tuen puolijohdelaitteiden huippuluokan päivitykselle, tarkalle säätelylle, vakaan toiminalle ja yhtenäisyyden varmistamiselle, mikä tekee siitä tärkeän tukilaitteen laitevalmistajille parantamaan heidän keskeistä kilpailukykyään.

Lisätietoja: Korkeatarkkuusvirta-anturit

Tietoja Hangzhi

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. on teknologisesti johtava yritys, joka on omistautunut huipputarkkojen virta-antureiden, jänniteantureiden ja huipputarkkojen sähköisten mittauslaitteiden tutkimukseen ja kehittämiseen, tuotantoon, myyntiin ja ratkaisujen räätälöintiin. Pyrimme rakentamaan tunnetun tuotemerkin . Tarkkuusvirta-antureita ja tarkkuuselektronisia mittauslaitteita tasavirta-alalla ja pyrkii kehittymään kansainvälisesti johtavaksi tarkkuuselektroniikan johtajaksi tasavirtajärjestelmien alalla.

fiSuomi