Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Soluciones de aplicación de sensores de corriente de alta precisión en fabricantes de equipos semiconductores
Antecedentes de la industria
Para los fabricantes de equipos semiconductores clave como grabado, deposición de películas delgadas, implantación iónica y pulido químico-mecánico (CMP), la competitividad central de su equipo no solo radica en la implementación funcional, sino también en tres dimensiones clave: primero, la estabilidad a largo plazo del proceso; segundo, la alta consistencia entre equipos del mismo modelo; y tercero, la capacidad de los parámetros clave para resistir la deriva después de una operación prolongada.
El logro de estas dimensiones depende en gran medida de la adquisición precisa de datos de corriente real en los circuitos clave de suministro de energía y carga—los datos de corriente son la base para el control de circuito cerrado y la garantía de estabilidad del proceso, y los sensores de corriente de alta precisión son los componentes centrales para lograr esta base.
Segmentos de Aplicación Típicos
1. Segmento de Aplicación 1: Monitoreo Preciso de Circuitos de Corrente Crítica en Equipos
Ubicaciones principales de la aplicación
- Terminal de salida de fuente de alimentación de CC de alta potencia
- Bus de CC de front-end de fuente de alimentación de radiofrecuencia (RF)
- Calentador, bobina electromagnética y circuitos de accionamiento del motor
Método de Implementación de Aplicaciones
Los sensores de corriente de alta precisión tipo fluxgate de Hangzhi se conectan directamente en serie con los circuitos de corriente crítica del equipo, proporcionando señales de retroalimentación de corriente en tiempo real de baja deriva y alta consistencia al controlador lógico programable (PLC) o tarjeta de control principal del equipo. Sus funciones principales abarcan tres escenarios: primero, control de proceso en lazo cerrado; segundo, monitoreo en tiempo real del estado de funcionamiento del equipo; y tercero, identificación rápida y alerta temprana de corrientes anómalas.
2. Etapa de aplicación 2: Calibración de consistencia del equipo y calibración de fábrica
Durante las tres etapas clave de prueba en fábrica del equipo, depuración integral de la máquina e instalación y calibración en sitio, los sensores de corriente de alta precisión Hangzhi pueden servir como dispositivos de referencia de grado metrológico, asumiendo tres tareas centrales: primero, calibrar la desviación de precisión del canal interno de detección de corriente del equipo; segundo, corregir las desviaciones de consistencia de medición entre lotes diferentes de equipos; y tercero, garantizar la consistencia y reproducibilidad de los parámetros de proceso para equipos del mismo modelo.
Ventajas principales de la solución
Esta solución utiliza la tecnología central de flujómetro de circuito cerrado de Hangzhi, poseyendo cuatro ventajas principales: Primero, alta precisión de medición, cumpliendo con los requisitos de control preciso de equipos semiconductores; segundo, baja deriva de punto cero y baja deriva de temperatura, garantizando estabilidad operativa a largo plazo; tercero, fuerte capacidad anti-interferencia, adaptándose al complejo entorno electromagnético de equipos semiconductores; y cuarto, excelente estabilidad, permitiendo operación confiable a largo plazo.
A través de estas ventajas, los fabricantes de equipos pueden mejorar directamente dos valores centrales: primero, fortalecer significativamente la estabilidad del proceso del equipo; y segundo, mejorar la fiabilidad en el mercado de los productos de marca.
Valor Central de la Aplicación
El sensor de corriente de alta precisión de Hangzhi, como componente fundamental central, proporciona un apoyo crucial para la actualización de alta gama, el control de precisión, el funcionamiento estable y la garantía de consistencia de los equipos semiconductores, convirtiéndose en un dispositivo de apoyo importante para que los fabricantes de equipos mejoren su competitividad central.
Aprender más acerca de Sensores de corriente de alta precisión
Acerca de Hangzhi
Shenzhen Hangzhi Precisión Electronics Co., Ltd. es una empresa líder en tecnología dedicada a la investigación y el desarrollo, la producción, la venta y la personalización de soluciones de sensores de corriente de alta precisión, sensores de tensión e instrumentos de medición eléctrica de alta precisión. Nos esforzamos por construir una marca conocida de . sensores de corriente de precisión e instrumentos de medición eléctrica de precisión en el campo de la corriente continua, y esforzarse por convertirse en un líder internacional en electrónica de precisión en el campo de los sistemas de corriente continua.