Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Anvendelsesløsninger af højpræcisions strømsensorer i halvlederudstyrsproducenter
Baggrund for industrien
For producenter af kernehalvlederudstyr som ætsning, tyndfilmabsatering, ionimplantation og kemisk-mekanisk polering (CMP) ligger kernekonkurrenceevnen for deres udstyr ikke kun i funktionel implementering, men også i tre nøgledimensioner: for det første, procesens langsigtede stabilitet; for det andet, høj konsistens mellem udstyr af samme model; og for det tredje, evnen hos nøgleparametre til at modstå drift efter langvarig drift.
Opnåelsen af disse dimensioner er stærkt afhængig af en præcis indhentning af reelle strømdata i nøgleforsynings- og belastningskredsløb—strømdata er grundlaget for lukket sløjfekontrol og processtabilitetssikring, og højpræcisions strømsensorer er kernekomponenterne for at opnå dette grundlag.
Typiske Applikationssegmenter
1. Anvendelsessegment 1: Præcis overvågning af kritiske strømkredsløb i udstyr
Kerneapplikationsplaceringer
- Højeffekt DC-strømforsynings udgangsterminal
- Front-end DC-bus til radiofrekvens (RF) strømforsyning
- Varmer, elektromagnetisk spole og motordrejekredsløb
Anvendelsesimplementeringsmetode
Hangzhis højpræcisions fluxgate-strømsensorer er direkte forbundet i serie med udstyrets kritiske strømkredsløb og leverer lav-drift, høj-konsistens realtids strømfeedback-signaler til udstyrets programmerbare logiske controller (PLC) eller hovedkontrolkort. Deres kernfunktioner dækker over tre hovedscenarier: for det første lukket proceskontrol; for det andet realtids overvågning af udstyrets driftsstatus; og for det tredje hurtig identifikation og tidlig advarsel om unormale strømme.
2. Applikationstrin 2: Udstyr konsistens kalibrering og fabrikskalibrering
I løbet af de tre nøglestadier for udstyrstest på fabrikken, overordnet maskinafprøvning samt installation og kalibrering på stedet, kan Hangzhi højnøjagtighedsstrømsensorer tjene som måletekniske referenceenheder og udføre tre kerneopgaver: for det første kalibrering af nøjagtighedsafvigelsen i udstyrets interne strømdetektionskanal; for det andet korrigering af målekonsistensafvigelser mellem forskellige batches af udstyr; og for det tredje sikring af konsistens og reproducerbarhed af procesparametre for udstyr af samme model.
Kernfordele ved løsningen
Denne løsning anvender Hangzhis kerne fluxgate lukkede-loop teknologi og har fire kernemæssige fordele: For det første, høj målenøjagtighed, der opfylder halvlederudstyrets præcisionskrav til styring; for det andet, lav nulpunktdrift og lav temperaturdrift, som sikrer langvarig operationel stabilitet; for det tredje, stærk interferensbestandighed, der tilpasser sig halvlederudstyrets komplekse elektromagnetiske miljø; og for det fjerde, fremragende stabilitet, der muliggør langvarig pålidelig drift.
Gennem disse fordele kan udstyrsproducenter direkte forbedre to kerneværdier: for det første at betydeligt styrke udstyrets processtabilitet; og for det andet at forbedre mærkevarers pålidelighed på markedet.
Kernapplikationsværdi
Hangzhis højpræcisions strømsensor, som en kernefundamental komponent, giver afgørende støtte til high-end opgradering, præcisionskontrol, stabil drift og konsistenssikring af halvlederudstyr, hvilket gør den til en vigtig understøttelsesenhed for udstyrsproducenter til at forbedre deres kernekonkurrenceevne.
Lær mere om Højpræcisions strømsensorer
Om Hangzhi
Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. er en teknologisk førende virksomhed, der er dedikeret til forskning og udvikling, produktion, salg og løsningstilpasning af højpræcisionsstrømsensorer, spændingssensorer og elektriske måleinstrumenter med høj præcision. Vi stræber efter at opbygge et velkendt mærke af Fluxgate præcisionsstrømsensorer og elektriske præcisionsmåleinstrumenter inden for jævnstrømsområdet og stræber efter at udvikle sig til en internationalt førende virksomhed inden for præcisionselektronik til jævnstrømssystemer.