Hangzhi Precision

Aplikace vysoce přesných proudových senzorů u výrobců polovodičových zařízení

Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers

Aplikace vysoce přesných proudových senzorů u výrobců polovodičových zařízení

Aplikační řešení vysokopřesných snímačů proudu u výrobců polovodičových zařízení

Pozadí průmyslu

Pro výrobce klíčových polovodičových zařízení, jako je leptání, nanášení tenkých vrstev, iontová implantace a chemicko-mechanické leštění (CMP), spočívá hlavní konkurenceschopnost jejich zařízení nejen ve funkční implementaci, ale také ve třech klíčových dimenzích: za prvé, dlouhodobá stabilita procesu; za druhé, vysoká konzistence mezi zařízeními stejného modelu; a za třetí, schopnost klíčových parametrů odolávat driftu po dlouhodobém provozu.

Dosažení těchto rozměrů silně závisí na přesném získávání skutečných dat proudu v klíčových napájecích a zatěžovacích obvodech—data proudu jsou základem pro řízení v uzavřené smyčce a zajištění stabilitu procesu, a vysoce přesné proudové senzory jsou klíčové součásti k dosažení tohoto základu.

Typické Aplikační Segmenty

1. Aplikační Segment 1: Přesné sledování kritických proudových obvodů v zařízeních

Hlavní umístění aplikace

  • Výstupní svorka vysokovýkonného zdroje stejnosměrného napětí
  • Front-end stejnosměrná sběrnice napájecího zdroje radiofrekvence (RF)
  • Ohřívač, elektromagnetická cívka a obvody pohonu motoru

Metoda implementace aplikace

Vysokopřesné fluxgate snímače proudu Hangzhi jsou přímo zapojeny do série s kritickými proudovými obvody zařízení a poskytují nízkoodchylkové, vysoce konzistentní signály zpětné vazby proudu v reálném čase programovatelnému logickému regulátoru (PLC) nebo hlavní řídicí desce zařízení. Jejich hlavní funkce pokrývají tři klíčové scénáře: zaprvé, uzavřené řízení procesu; zadruhé, sledování provozního stavu zařízení v reálném čase; zatřetí, rychlou detekci a včasné varování před abnormálními proudy.

2. Etapa aplikace 2: Kalibrace konzistence zařízení a tovární kalibrace

Během tří klíčových fází továrního testování zařízení, celkového ladění stroje a instalace a kalibrace na místě mohou vysoko přesné proudové senzory Hangzhi sloužit jako metrologické referenční přístroje a plnit tři hlavní úkoly: za prvé kalibraci odchylky přesnosti interního kanálu detekce proudu zařízení; za druhé korekci odchylek měřicí konzistence mezi různými šaržemi zařízení; a za třetí zajištění konzistence a reprodukovatelnosti procesních parametrů pro zařízení stejného modelu.

Hlavní výhody řešení

Toto řešení využívá jádrovou fluxgate uzavřenou smyčkovou technologii společnosti Hangzhi a má čtyři klíčové výhody: Za prvé, vysoká měřicí přesnost, splňující požadavky na přesné řízení polovodičového zařízení; za druhé, nízký nulový posun a nízký teplotní posun, zajišťující dlouhodobou provozní stabilitu; za třetí, silná odolnost proti rušení, přizpůsobující se složitému elektromagnetickému prostředí polovodičového zařízení; a za čtvrté, vynikající stabilita, umožňující dlouhodobě spolehlivý provoz.

Díky těmto výhodám mohou výrobci zařízení přímo posílit dvě klíčové hodnoty: za prvé, výrazně zvýšit stabilitu procesu zařízení; a za druhé, zlepšit tržní spolehlivost značkových produktů.

Základní hodnota aplikace

Vysoce přesný proudový senzor Hangzhi, jako základní centrální součástka, poskytuje zásadní podporu pro high-end upgrade, přesné řízení, stabilní provoz a zajištění konzistence polovodičového zařízení, což z něj činí důležité podpůrné zařízení pro výrobce zařízení ke zlepšení jejich klíčové konkurenceschopnosti.

Dozvědět se víc o Vysoce přesné proudové senzory

O Hangzhi

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. je technologicky špičkový podnik, který se zabývá výzkumem a vývojem, výrobou, prodejem a přizpůsobováním řešení vysoce přesných snímačů proudu, napětí a vysoce přesných elektrických měřicích přístrojů. Usilujeme o vybudování známé značky . přesné snímače proudu a přesné elektrické měřicí přístroje v oblasti stejnosměrného proudu a usilovat o to, aby se společnost stala předním mezinárodním výrobcem přesné elektroniky v oblasti stejnosměrných systémů.

cs_CZČeština