Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Applikationslösningar för högprecisions strömsensorer i halvledarutrustningstillverkare
Industribakgrund
För tillverkare av kärnhalfledarutrustning såsom etsning, tunnfilmsdeponering, jonimplantation och kemisk-mekanisk polering (CMP) ligger kärnkonkurrenskraften i deras utrustning inte bara i funktionell implementering, utan också i tre nyckeldimensioner: för det första, processens långsiktiga stabilitet; för det andra, hög konsistens mellan utrustning av samma modell; och för det tredje, förmågan hos nyckelparametrar att motstå drift efter långvarig drift.
Uppnåendet av dessa dimensioner är starkt beroende av korrekt inhämtning av verkliga strömdata i nyckelförsörjnings- och belastningskretsar—strömdata är grunden för sluten reglering och processstabilitetssäkring, och högprecisions strömsensorer är kärnkomponenterna för att uppnå denna grund.
Typiska Applikationssegment
1. Applikationssegment 1: Exakt övervakning av kritiska strömkretsar i utrustning
Kärnapplikationsplatser
- Hög effekt DC-strömförsörjnings utgångsterminal
- Front-end DC-buss för radiofrekvens (RF) strömförsörjning
- Värmare, elektromagnetisk spole och motorstyrkretsar
Applikationsimplementeringsmetod
Hangzhis högprecisions fluxgate-strömsensorer är direkt anslutna i serie med utrustningens kritiska strömkretsar och levererar lågdrift, högkonsistent realtids strömåterkopplingssignaler till utrustningens programmerbara logiska styrenhet (PLC) eller huvudstyrkort. Deras kärnfunktioner täcker tre huvudscenarier: för det första styrning av processen i sluten slinga; för det andra realtidsövervakning av utrustningens drifttillstånd; och för det tredje snabb identifiering och tidig varning för onormala strömmar.
2. Applikationssteg 2: Utrustningens konsekvenskalibrering och fabrikskalibrering
Under de tre nyckelfaserna för utrustningens fabrikstestning, övergripande maskinavlusning samt installation och kalibrering på plats, kan Hangzhi högprecisions strömsensorer fungera som mättekniska referensenheter och utföra tre kärnuppgifter: för det första kalibrering av noggrannhetsavvikelsen för utrustningens interna strömdetektionskanal; för det andra korrigering av mätkonsistensavvikelser mellan olika satser av utrustning; och för det tredje säkerställande av konsistens och reproducerbarhet för processparametrar för utrustning av samma modell.
Lösningens kärnfördelar
Denna lösning använder Hangzhis kärnfluxgate-stängda-loop-teknik och har fyra kärnfördelar: För det första, hög mätnoggrannhet, som uppfyller halvledarutrustningens precisionskontrollkrav; för det andra, låg nolldrift och låg temperaturdrift, vilket säkerställer långsiktig operativ stabilitet; för det tredje, stark störningsimmunitet, som anpassar sig till halvledarutrustningens komplexa elektromagnetiska miljö; och för det fjärde, utmärkt stabilitet, som möjliggör långsiktig tillförlitlig drift.
Genom dessa fördelar kan utstillverkare direkt förbättra två kärnvärden: för det första att avsevärt stärka utstyrets processstabilitet; och för det andra att förbättra märkesprodukters marknadspålitlighet.
Kärnapplikationsvärde
Hangzhis högprecisions strömsensor, som en kärnfundamental komponent, ger avgörande stöd för high-end uppgradering, precisionskontroll, stabil drift och konsistenssäkring av halvledarutrustning, vilket gör den till en viktig stödenhet för utrustningstillverkare för att förbättra sin kärnkonkurrenskraft.
Lära sig mer om Högprecisions strömsensorer
Om Hangzhi
Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. är ett teknikledande företag som ägnar sig åt forskning och utveckling, produktion, försäljning och anpassning av lösningar för högprecisionsströmgivare, spänningsgivare och elektriska mätinstrument med hög precision. Vi strävar efter att bygga ett välkänt varumärke av . precisionsströmgivare och elektriska precisionsmätinstrument inom DC-området samt sträva efter att utvecklas till en internationellt ledande aktör inom precisionselektronik för DC-system.