Точность Ханчжи

Применение высокоточных датчиков тока у производителей полупроводникового оборудования

Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers

Применение высокоточных датчиков тока у производителей полупроводникового оборудования

Прикладные решения высокоточных датчиков тока у производителей полупроводникового оборудования

История отрасли

Для производителей основного полупроводникового оборудования, такого как травление, осаждение тонких пленок, ионная имплантация и химико-механическая полировка (CMP), основная конкурентоспособность их оборудования заключается не только в функциональной реализации, но и в трех ключевых аспектах: во-первых, долгосрочная стабильность процесса; во-вторых, высокая согласованность между оборудованием одной модели; и в-третьих, способность ключевых параметров противостоять дрейфу после длительной эксплуатации.

Достижение этих измерений в значительной степени зависит от точного получения реальных данных тока в ключевых цепях питания и нагрузки — данные тока являются основой для замкнутого управления и обеспечения стабильности процесса, а высокоточные датчики тока являются основными компонентами для достижения этой основы.

Типичные Сегменты Применения

1. Сегмент приложения 1: Точный мониторинг критических токовых цепей в оборудовании

Основные места применения

  • Выходная клемма высокомощного источника питания постоянного тока
  • Входная шина постоянного тока источника питания радиочастоты (РЧ)
  • Нагреватель, электромагнитная катушка и схемы привода двигателя

Метод внедрения приложений

Высокоточные флюксатные датчики тока Hangzhi подключаются непосредственно последовательно с критическими цепями тока оборудования, обеспечивая низкодрейфовые, высокосогласованные сигналы обратной связи по току в реальном времени программируемому логическому контроллеру (ПЛК) или основной плате управления оборудования. Их основные функции охватывают три главных сценария: во-первых, замкнутое управление процессом; во-вторых, мониторинг рабочего состояния оборудования в реальном времени; и в-третьих, быстрое выявление и раннее предупреждение аномальных токов.

2. Этап применения 2: Калибровка согласованности оборудования и заводская калибровка

На трех ключевых этапах заводских испытаний оборудования, комплексной отладки машины и установки с калибровкой на месте высокоточные датчики тока Hangzhi могут служить метрологическими эталонными устройствами, выполняя три основные задачи: во-первых, калибровку отклонения точности внутреннего канала обнаружения тока оборудования; во-вторых, корректировку отклонений согласованности измерений между различными партиями оборудования; и в-третьих, обеспечение согласованности и воспроизводимости технологических параметров для оборудования одной модели.

Ключевые преимущества решения

Это решение использует основную технологию замкнутого контура флюксгейта компании Hangzhi, обладая четырьмя основными преимуществами: во-первых, высокая точность измерений, соответствующая требованиям точного управления полупроводниковым оборудованием; во-вторых, низкий дрейф нулевой точки и низкий температурный дрейф, обеспечивающие долгосрочную стабильность работы; в-третьих, сильная способность противостоять помехам, адаптирующаяся к сложной электромагнитной среде полупроводникового оборудования; и в-четвертых, отличная стабильность, позволяющая надежную долгосрочную работу.

Благодаря этим преимуществам производители оборудования могут напрямую повысить две основные ценности: во-первых, значительно укрепить стабильность технологического процесса оборудования, и, во-вторых, повысить рыночную надежность фирменных продуктов.

Основная ценность приложения

Высокоточный датчик тока Hangzhi, являясь основным фундаментальным компонентом, обеспечивает решающую поддержку для высококлассной модернизации, точного управления, стабильной работы и гарантии согласованности полупроводникового оборудования, что делает его важным вспомогательным устройством для производителей оборудования с целью повышения их основной конкурентоспособности.

Узнайте больше о Высокоточные датчики тока

About Hangzhi

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. является технологически лидирующим предприятием, занимающимся исследованиями и разработкой, производством, продажами и разработкой решений на заказ для высокоточных датчиков тока, датчиков напряжения и высокоточных электроизмерительных приборов. Мы стремимся создать известный бренд флюксгейт прецизионных датчиков тока и прецизионных электроизмерительных приборов в области постоянного тока, а также стремится стать ведущим международным лидером в области прецизионной электроники в системах постоянного тока.

ru_RUРусский