Precizie Hangzhi

Aplicații ale senzorilor de curent de înaltă precizie la producătorii de echipamente semiconductoare

Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers

Aplicații ale senzorilor de curent de înaltă precizie la producătorii de echipamente semiconductoare

Soluții de aplicare a senzorilor de curent de înaltă precizie la producătorii de echipamente semiconductoare

Contextul industriei

Pentru producătorii de echipamente semiconductoare de bază, cum ar fi gravarea, depunerea peliculelor subțiri, implantarea ionică și șlefuirea chimico-mecanică (CMP), competitivitatea centrală a echipamentelor lor constă nu numai în implementarea funcțională, ci și în trei dimensiuni cheie: în primul rând, stabilitatea pe termen lung a procesului; în al doilea rând, consistența ridicată între echipamentele aceluiași model; și în al treilea rând, capacitatea parametrilor cheie de a rezista la deriva după o funcționare îndelungată.

Realizarea acestor dimensiuni depinde în mare măsură de achiziționarea precisă a datelor reale de curent din circuitele cheie de alimentare și sarcină—datele de curent sunt baza pentru controlul în buclă închisă și asigurarea stabilității procesului, iar senzorii de curent de înaltă precizie sunt componentele de bază pentru atingerea acestei fundații.

Segmente de Aplicație Tipice

1. Segmentul de Aplicație 1: Monitorizarea Preciză a Circuitelor de Curent Critice din Echipamente

Locațiile principale ale aplicației

  • Terminal de ieșire a sursei de alimentare CC de înaltă putere
  • Magistrală CC front-end a sursei de alimentare cu radiofrecvență (RF)
  • Încălzitor, bobină electromagnetică și circuite de acționare a motorului

Metoda de Implementare a Aplicațiilor

Senzorii de curent de înaltă precizie tip fluxgate Hangzhi sunt conectați direct în serie cu circuitele de curent critice ale echipamentului, furnizând semnale de feedback de curent în timp real cu drift scăzut și consistență ridicată controlerului logic programabil (PLC) sau plăcii de control principale a echipamentului. Funcțiile lor principale acoperă trei scenarii majore: în primul rând, controlul în circuit închis al procesului; în al doilea rând, monitorizarea în timp real a stării de funcționare a echipamentului; și în al treilea rând, identificarea rapidă și avertizarea timpurie a curenților anormali.

2. Etapa de aplicare 2: Calibrarea consistenței echipamentului și calibrarea de fabrică

În timpul celor trei etape cheie ale testării în fabrică a echipamentului, depanării generale a mașinii și instalării și etalonării la fața locului, senzorii de curent de înaltă precizie Hangzhi pot servi ca dispozitive de referință de grad metrologic, îndeplinind trei sarcini de bază: în primul rând, etalonarea abaterii de precizie a canalului intern de detectare a curentului a echipamentului; în al doilea rând, corectarea abaterilor de consistență a măsurătorilor între loturi diferite de echipamente; și în al treilea rând, asigurarea consistenței și reproductibilității parametrilor de proces pentru echipamentele de același model.

Avantajele de bază ale soluției

Această soluție utilizează tehnologia de bază a fluxului închis de la Hangzhi, având patru avantaje principale: În primul rând, precizie ridicată de măsurare, îndeplinind cerințele de control de precizie ale echipamentelor semiconductoare; în al doilea rând, derivă redusă a punctului zero și derivă redusă de temperatură, asigurând stabilitate operațională pe termen lung; în al treilea rând, capacitate puternică anti-interferență, adaptându-se la mediul electromagnetic complex al echipamentelor semiconductoare; și în al patrulea rând, stabilitate excelentă, permițând funcționare fiabilă pe termen lung.

Prin aceste avantaje, producătorii de echipamente pot îmbunătăți direct două valori de bază: în primul rând, consolidarea semnificativă a stabilității procesului echipamentelor; și în al doilea rând, îmbunătățirea fiabilității pe piață a produselor de marcă.

Valoarea de Bază a Aplicației

Senzorul de curent de înaltă precizie al Hangzhi, ca componentă fundamentală centrală, oferă suport crucial pentru modernizarea de high-end, controlul de precizie, funcționarea stabilă și asigurarea consistenței echipamentelor semiconductoare, făcându-l un dispozitiv de susținere important pentru producătorii de echipamente pentru a-și îmbunătăți competitivitatea centrală.

Află mai multe despre Senzori de curent de înaltă precizie

Despre Hangzhi

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. este o întreprindere lider tehnologic dedicată cercetării și dezvoltării, producției, vânzărilor și personalizării soluțiilor de senzori de curent de înaltă precizie, senzori de tensiune și instrumente electrice de măsurare de înaltă precizie. Ne străduim să construim o marcă bine cunoscută de fluxgate senzori de curent de precizie și instrumente electrice de măsurare de precizie în domeniul curentului continuu și să depună eforturi pentru a deveni un lider internațional în domeniul electronicii de precizie în domeniul sistemelor de curent continuu.

ro_RORomână