Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Soluções de aplicação de sensores de corrente de alta precisão em fabricantes de equipamentos semicondutores
Contexto da indústria
Para fabricantes de equipamentos semicondutores essenciais como gravação, deposição de filmes finos, implantação iônica e polimento químico-mecânico (CMP), a competitividade central de seus equipamentos reside não apenas na implementação funcional, mas também em três dimensões-chave: primeiro, a estabilidade de longo prazo do processo; segundo, a alta consistência entre equipamentos do mesmo modelo; e terceiro, a capacidade dos parâmetros-chave de resistirem à deriva após operação prolongada.
A realização destas dimensões depende fortemente da aquisição precisa de dados de corrente reais nos circuitos-chave de alimentação e carga—os dados de corrente são a base para o controle de ciclo fechado e a garantia de estabilidade do processo, e os sensores de corrente de alta precisão são os componentes centrais para alcançar esta base.
Segmentos Típicos de Aplicação
1. Segmento de Aplicação 1: Monitoramento Preciso de Circuitos de Corrente Crítica em Equipamentos
Localizações principais do aplicativo
- Terminal de saída de fonte de alimentação CC de alta potência
- Barramento CC de front-end de fonte de alimentação de radiofrequência (RF)
- Aquecedor, bobina eletromagnética e circuitos de acionamento do motor
Método de Implementação de Aplicativos
Os sensores de corrente de alta precisão do tipo fluxgate da Hangzhi são conectados diretamente em série com os circuitos de corrente crítica do equipamento, fornecendo sinais de realimentação de corrente em tempo real de baixa deriva e alta consistência ao controlador lógico programável (PLC) ou placa de controle principal do equipamento. Suas funções principais abrangem três cenários: primeiro, controle de processo em malha fechada; segundo, monitoramento em tempo real do estado de operação do equipamento; e terceiro, identificação rápida e alerta precoce de correntes anormais.
2. Etapa de aplicação 2: Calibração de consistência do equipamento e calibração de fábrica
Durante os três estágios-chave de teste de fábrica do equipamento, depuração integral da máquina e instalação e calibração no local, os sensores de corrente de alta precisão Hangzhi podem servir como dispositivos de referência de grau metrológico, assumindo três tarefas centrais: primeiro, calibrar o desvio de precisão do canal interno de detecção de corrente do equipamento; segundo, corrigir desvios de consistência de medição entre lotes diferentes de equipamentos; e terceiro, garantir a consistência e reprodutibilidade dos parâmetros de processo para equipamentos do mesmo modelo.
Principais vantagens da solução
Esta solução utiliza a tecnologia central de fluxímetro de circuito fechado da Hangzhi, possuindo quatro vantagens principais: Primeiro, alta precisão de medição, atendendo aos requisitos de controle preciso de equipamentos semicondutores; segundo, baixa deriva de ponto zero e baixa deriva de temperatura, garantindo estabilidade operacional de longo prazo; terceiro, forte capacidade anti-interferência, adaptando-se ao complexo ambiente eletromagnético de equipamentos semicondutores; e quarto, excelente estabilidade, permitindo operação confiável de longo prazo.
Através dessas vantagens, os fabricantes de equipamentos podem melhorar diretamente dois valores centrais: primeiro, fortalecer significativamente a estabilidade do processo do equipamento; e segundo, melhorar a confiabilidade de mercado dos produtos de marca.
Valor Central do Aplicativo
O sensor de corrente de alta precisão da Hangzhi, como componente fundamental central, fornece suporte crucial para a atualização de alta gama, o controle de precisão, a operação estável e a garantia de consistência dos equipamentos semicondutores, tornando-se um dispositivo de apoio importante para que os fabricantes de equipamentos melhorem sua competitividade central.
Aprender mais sobre Sensores de corrente de alta precisão
Sobre Hangzhi
Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. é uma empresa líder em tecnologia dedicada à pesquisa e desenvolvimento, produção, vendas e personalização de soluções de sensores de corrente de alta precisão, sensores de tensão e instrumentos de medição elétrica de alta precisão. Nós nos esforçamos para construir uma marca bem conhecida de . sensores de corrente de precisão e instrumentos de medição elétrica de precisão no campo de corrente contínua e se esforça para se tornar um líder internacional em eletrônica de precisão no campo de sistemas de corrente contínua.