Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers
Toepassingsoplossingen van hoogprecisie stroomsensoren in halfapparatuurfabrikanten
Industrieachtergrond
Voor fabrikanten van kern-halfgeleiderapparatuur zoals etsen, dunnefilm depositie, ionenimplantatie en chemisch-mechanisch polijsten (CMP) ligt de kerncompetitiviteit van hun apparatuur niet alleen in functionele implementatie, maar ook in drie belangrijke dimensies: ten eerste, de langetermijnstabiliteit van het proces; ten tweede, hoge consistentie tussen apparaten van hetzelfde model; en ten derde, het vermogen van cruciale parameters om drift te weerstaan na langdurige werking.
Het bereiken van deze dimensies is sterk afhankelijk van de nauwkeurige verwerving van echte stroomgegevens in de belangrijkste stroomtoevoer- en belastingscircuits—stroomgegevens vormen de basis voor gesloten regeling en processtabiliteitsborging, en hoogprecisie stroomsensoren zijn de kerncomponenten om deze basis te realiseren.
Typische Toepassingssegmenten
1. Toepassingssegment 1: Nauwkeurige bewaking van kritieke stroomcircuits in apparatuur
Kernapplicatielocaties
- Uitgangsklem van hoogvermogen gelijkstroomvoeding
- Front-end gelijkstroombus van radiofrequentie (RF) voeding
- Verwarmer, elektromagnetische spoel en motoraandrijvingscircuits
Toepassingsimplementatiemethode
De hoogwaardige fluxgate-stroomsensoren van Hangzhi worden direct in serie geschakeld met de kritieke stroomkringen van de apparatuur en leveren real-time stroomterugkoppelsignalen met lage drift en hoge consistentie aan de programmeerbare logische controller (PLC) of het hoofdbesturingsbord van de apparatuur. Hun kernfuncties omvatten drie hoofdscenario's: ten eerste, gesloten regeling van het proces; ten tweede, real-time bewaking van de bedrijfsstatus van de apparatuur; en ten derde, snelle identificatie en vroegtijdige waarschuwing voor abnormale stromen.
2. Toepassingsfase 2: Consistentiecalibratie van apparatuur en fabriekscalibratie
Tijdens de drie cruciale fasen van fabrieks testen van apparatuur, algehele machine debugging, en installatie en kalibratie ter plaatse, kunnen Hangzhi hoogprecisie stroomsensoren dienen als meetkundige referentieapparaten, waarbij ze drie kerntaken vervullen: ten eerste, het kalibreren van de nauwkeurigheidsafwijking van het interne stroomdetectiekanaal van de apparatuur; ten tweede, het corrigeren van meetconsistentieafwijkingen tussen verschillende batches apparatuur; en ten derde, het waarborgen van de consistentie en reproduceerbaarheid van procesparameters voor apparatuur van hetzelfde model.
Kernvoordelen van de oplossing
Deze oplossing maakt gebruik van de kernfluxgate-gesloten-lus-technologie van Hangzhi en heeft vier kernvoordelen: Ten eerste, hoge meetnauwkeurigheid, die voldoet aan de precisiecontrole-eisen van halfapparatuur; ten tweede, lage nulpuntdrift en lage temperatuurdrift, wat langdurige operationele stabiliteit garandeert; ten derde, sterke storingsbestendigheid, die zich aanpast aan de complexe elektromagnetische omgeving van halfapparatuur; en ten vierde, uitstekende stabiliteit, die langdurige betrouwbare werking mogelijk maakt.
Door deze voordelen kunnen apparatuurfabrikanten direct twee kernwaarden verbeteren: ten eerste, de processtabiliteit van apparatuur aanzienlijk versterken; en ten tweede, de marktbetrouwbaarheid van merkproducten verbeteren.
Kernapplicatiewaarde
Hangzhi's hoogprecisie stroomsensor, als een kernfundamentele component, biedt cruciale ondersteuning voor de high-end upgrade, precisiebesturing, stabiele werking en consistentiegarantie van halfapparatuur, waardoor het een belangrijke ondersteunende apparaat is voor apparatuurfabrikanten om hun kernconcurrentievermogen te verbeteren.
Meer informatie over Hoogprecisie stroomsensoren
Over Hangzhi
Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. is een technologisch toonaangevend bedrijf dat zich toelegt op onderzoek en ontwikkeling, productie, verkoop en klantspecifieke oplossingen van zeer nauwkeurige stroomsensoren, spanningssensoren en zeer nauwkeurige elektrische meetinstrumenten. We streven ernaar om een bekend merk van . precisie-stroomsensoren en elektrische precisiemeetinstrumenten op het gebied van DC, en streven ernaar zich te ontwikkelen tot een internationaal toonaangevende leider in precisie-elektronica op het gebied van DC-systemen.