항지 정밀

반도체 장비 제조업체에서의 고정밀 전류 센서 적용

Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers

반도체 장비 제조업체에서의 고정밀 전류 센서 적용

반도체 장비 제조업체에서의 고정밀 전류 센서 응용 솔루션

산업 배경

에칭, 박막 증착, 이온 주입 및 화학 기계적 연마(CMP)와 같은 핵심 반도체 장비 제조업체의 경우, 장비의 핵심 경쟁력은 기능적 구현뿐만 아니라 세 가지 주요 차원에 있습니다. 첫째, 공정의 장기적 안정성; 둘째, 동일 모델 장비 간의 높은 일관성; 셋째, 장기 운영 후 주요 매개변수가 드리프트에 저항하는 능력입니다.

이러한 차원의 성취는 주요 전원 공급 및 부하 회로에서 실제 전류 데이터의 정확한 획득에 크게 의존합니다—전류 데이터는 폐루프 제어 및 공정 안정성 보장의 기초이며, 고정밀 전류 센서는 이 기초를 달성하는 핵심 구성 요소입니다.

전형적인 애플리케이션 세그먼트

1. 응용 분야 1: 장비의 중요 전류 회로 정밀 모니터링

핵심 애플리케이션 위치

  • 고출력 DC 전원 공급 장치 출력 단자
  • 무선 주파수(RF) 전원 공급 장치 프런트엔드 DC 버스
  • 히터, 전자기 코일 및 모터 구동 회로

애플리케이션 구현 방법

Hangzhi 고정밀 플럭스게이트 전류 센서는 장비의 중요 전류 회로에 직접 직렬로 연결되어, 장비의 프로그래머블 로직 컨트롤러(PLC) 또는 메인 제어 보드에 낮은 드리프트와 높은 일관성을 가진 실시간 전류 피드백 신호를 제공합니다. 그들의 핵심 기능은 세 가지 주요 시나리오를 다룹니다: 첫째, 공정의 폐루프 제어; 둘째, 장비 운영 상태의 실시간 모니터링; 셋째, 이상 전류의 신속한 식별 및 조기 경보입니다.

2. 애플리케이션 단계 2: 장비 일관성 보정 및 공장 보정

장비 공장 테스트, 전반적인 기계 디버깅 및 현장 설치와 교정의 세 가지 주요 단계에서 Hangzhi 고정밀 전류 센서는 계량 등급 기준 장치로 사용될 수 있으며 세 가지 핵심 작업을 수행합니다: 첫째, 장비의 내부 전류 감지 채널의 정확도 편차를 교정합니다; 둘째, 서로 다른 장비 배치 간의 측정 일관성 편차를 수정합니다; 셋째, 동일 모델의 장비에 대한 공정 매개변수의 일관성과 재현성을 보장합니다.

솔루션의 핵심 장점

이 솔루션은 Hangzhi의 코어 플럭스게이트 폐쇄 루프 기술을 활용하며, 네 가지 핵심 장점을 가지고 있습니다: 첫째, 높은 측정 정확도로 반도체 장비의 정밀 제어 요구 사항을 충족합니다; 둘째, 낮은 영점 드리프트와 낮은 온도 드리프트로 장기간 운영 안정성을 보장합니다; 셋째, 강력한 간섭 방지 능력으로 반도체 장비의 복잡한 전자기 환경에 적응합니다; 넷째, 우수한 안정성으로 장기간 신뢰할 수 있는 운영이 가능합니다.

이러한 장점을 통해 장비 제조업체는 두 가지 핵심 가치를 직접 향상시킬 수 있습니다: 첫째, 장비 공정 안정성을 크게 강화하고, 둘째, 브랜드 제품의 시장 신뢰성을 향상시킵니다.

핵심 애플리케이션 가치

Hangzhi의 고정밀 전류 센서는 핵심 기초 구성 요소로서, 반도체 장비의 고급 업그레이드, 정밀 제어, 안정적인 작동 및 일관성 보장에 중요한 지원을 제공하여 장비 제조업체가 핵심 경쟁력을 향상시키는 중요한 지원 장치입니다.

자세히 알아보기 고정밀 전류 센서

Hangzhi 소개

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. 는 고정밀 전류 센서, 전압 센서 및 고정밀 전기 계측기의 연구 개발, 생산, 판매 및 솔루션 맞춤화에 전념하는 기술 선도 기업입니다. 우리는 다음과 같이 잘 알려진 브랜드를 구축하기 위해 노력합니다. . 직류 분야의 정밀 전류 센서와 정밀 전기 계측기를 개발하여 직류 시스템 분야에서 정밀 전자 분야의 국제적인 선두주자로 발전하기 위해 노력하고 있습니다.

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