航智精密

半導体装置メーカーにおける高精度電流センサーの応用

Applications of high-precision current sensors in semiconductor equipment manufacturers

半導体装置メーカーにおける高精度電流センサーの応用

半導体装置メーカーにおける高精度電流センサーのアプリケーションソリューション

産業背景

エッチング、薄膜堆積、イオン注入、化学機械研磨(CMP)などのコア半導体装置メーカーにとって、装置の核心競争力は機能的実装だけでなく、3つの重要な側面にあります。第一に、プロセスの長期的な安定性。第二に、同モデルの装置間の高い一貫性。第三に、長期運転後のキーパラメータのドリフトに対する耐性です。

これらの次元の達成は、主要な電源回路と負荷回路における実際の電流データの正確な取得に大きく依存しています—電流データは閉ループ制御とプロセス安定性保証の基盤であり、高精度電流センサーはこの基盤を実現するためのコア部品です。

典型的なアプリケーションセグメント

1. アプリケーションセグメント1:機器の重要電流回路の精密モニタリング

コアアプリケーションの場所

  • 高出力DC電源出力端子
  • 無線周波数(RF)電源フロントエンドDCバス
  • ヒーター、電磁コイル、モータードライブ回路

アプリケーション実装方法

Hangzhiの高精度フラックスゲート電流センサーは、機器の重要な電流回路に直列に直接接続され、機器のプログラマブルロジックコントローラー(PLC)またはメイン制御ボードに低ドリフトで高整合性のリアルタイム電流フィードバック信号を提供します。その中核機能は、主に3つのシナリオをカバーしています:第一に、プロセスの閉ループ制御;第二に、機器の動作状態のリアルタイム監視;第三に、異常電流の迅速な識別と早期警告です。

2. アプリケーションフェーズ2:機器整合性キャリブレーションおよび工場キャリブレーション

機器の工場テスト、全体の機械デバッグ、現場設置および校正という3つの重要な段階において、Hangzhi高精度電流センサーは計量グレードの参照デバイスとして機能し、3つの核心的タスクを担います:第一に、機器の内部電流検出チャネルの精度偏差の校正;第二に、異なるロットの機器間の測定一貫性偏差の補正;第三に、同一モデルの機器に対するプロセスパラメータの一貫性と再現性の確保。

ソリューションの核心的な利点

このソリューションは、Hangzhiのコア・フラックスゲート・クローズドループ技術を活用しており、4つの核心的な利点を持っています:第一に、高い測定精度で、半導体装置の精密制御要件を満たします;第二に、低い零点ドリフトと低温ドリフトで、長期的な動作安定性を保証します;第三に、強力な耐干渉能力で、半導体装置の複雑な電磁環境に適応します;第四に、優れた安定性で、長期的に信頼性の高い動作を可能にします。

これらの利点を通じて、機器メーカーは二つの核心的な価値を直接高めることができます:第一に、機器のプロセス安定性を大幅に強化し、第二に、ブランド製品の市場信頼性を向上させることです。

コアアプリケーション価値

Hangzhiの高精度電流センサーは、中核的な基本コンポーネントとして、半導体装置のハイエンドアップグレード、精密制御、安定した動作、一貫性の保証に重要なサポートを提供し、装置メーカーが中核的な競争力を高めるための重要なサポートデバイスとなっています。

詳しくはこちら 高精度電流センサー

Hangzhi について

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. は、高精度電流センサ、電圧センサ、高精度電気測定器の研究開発、生産、販売、ソリューションカスタマイズに特化した技術をリードする企業です。私たちは、以下の有名なブランドを構築するために努力しています。 . 直流分野における精密電流センサーと精密電気測定器を製造し、直流システム分野における精密エレクトロニクスの国際的リーダーとして発展することを目指す。

ja日本語