Für Hersteller von Kern-Halbleiterausrüstungen wie Ätzen, Dünnschichtabscheidung, Ionenimplantation und chemisch-mechanischem Polieren (CMP) liegt die Kernwettbewerbsfähigkeit ihrer Ausrüstung nicht nur in der funktionalen Umsetzung, sondern auch in drei Schlüsseldimensionen: erstens, der langfristigen Stabilität des Prozesses; zweitens, der hohen Konsistenz zwischen Ausrüstungen desselben Modells; und drittens, der Fähigkeit der Schlüsselparameter, einer Drift nach langfristigem Betrieb zu widerstehen.

Die Erreichung dieser Dimensionen hängt stark von der präzisen Erfassung echter Stromdaten in den wichtigsten Stromversorgungs- und Lastkreisen ab—Stromdaten sind die Grundlage für die Regelung im geschlossenen Regelkreis und die Sicherung der Prozessstabilität, und hochpräzise Stromsensoren sind die Kernkomponenten zur Verwirklichung dieser Grundlage.